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企业新闻平台 2024-4-16 02:19 9959 0

牛津仪器开发SiC衬底加工新方法

牛津仪器开辟SiC衬底加工新方式

牛津仪器开辟SiC衬底加工新方式


克日,英国半导体装备厂商Oxford Instruments(牛津仪器)公布开辟了全新的SiC衬底加工新工艺,并考证了兼容HVM的SiC衬底等离子抛光工艺可以很好地替换化学机械研磨(CMP)工艺,同时还可以减缓与CMP工艺相关的重要技术、情况和供给链题目。


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